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影像測量儀
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白光干涉測量模組WeiMi01BG

產(chǎn)品型號:WeiMi01BG

適用場景:用于高度、表面角度、平面度、厚度、體積、顏色相近表面區(qū)分等場景的測量。

產(chǎn)品描述:白光干涉測量模組WeiMi01BG,,廣泛應用于消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料等各大領域精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸等檢測,.....

產(chǎn)品詳情

儀器特點:


WeiMi01BG白光干涉測量模組,白光干涉儀,廣泛應用于消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料等各大領域精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸等檢測,如智能電子產(chǎn)品的玻璃外殼、超光滑薄片(如home鍵里的薄片、手機攝像頭里面的薄片)等產(chǎn)品檢測。高品質(zhì)激光檢測儀,實現(xiàn)納米級精度測量!


■ 白光干涉和多角度共路照明相結合,照明和成像光線方向一致。創(chuàng)新算法和高度勻速位移臺的匹配,實現(xiàn)連續(xù)3D成像。

■ 使用進口130萬像素相機和GPU優(yōu)化算法,實現(xiàn)大數(shù)據(jù)量實時運算。

■ 選配高精度壓電陶瓷,可在高度方向?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量。

■ 高度集成化模組,便于多種場景的視覺系統(tǒng)集成。

■ 產(chǎn)品可用于高度、表面角度、平面度、厚度、體積、顏色相近表面區(qū)分等場景的測量。


儀器參數(shù):


儀器型號WeiMi01BG
橫向分辨率1280x1024外觀尺寸(mm)280x166x84.5
橫向最小分辨率6um*6um高度分辨率0.5um
高度重復精度1.5um模組自帶量程12mm (可通過外加位移臺拓展)
視場區(qū)城7.5mm*6.0mm重量3.6Kg
工作距離58mm數(shù)據(jù)接口USB 3.0
電源AC 220V 50HZ

測量速度

(高度方向掃描速度)

(222x p)um/s@分辨率pum

如222um/s@分辨率1um、444um/s@分辨率2um