- >
白光干涉測量模組WeiMi01BG
產(chǎn)品型號:WeiMi01BG
適用場景:用于高度、表面角度、平面度、厚度、體積、顏色相近表面區(qū)分等場景的測量。
產(chǎn)品描述:白光干涉測量模組WeiMi01BG,,廣泛應用于消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料等各大領域精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸等檢測,.....
產(chǎn)品詳情
儀器特點:
WeiMi01BG白光干涉測量模組,白光干涉儀,廣泛應用于消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料等各大領域精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸等檢測,如智能電子產(chǎn)品的玻璃外殼、超光滑薄片(如home鍵里的薄片、手機攝像頭里面的薄片)等產(chǎn)品檢測。高品質(zhì)激光檢測儀,實現(xiàn)納米級精度測量!
■ 白光干涉和多角度共路照明相結合,照明和成像光線方向一致。創(chuàng)新算法和高度勻速位移臺的匹配,實現(xiàn)連續(xù)3D成像。
■ 使用進口130萬像素相機和GPU優(yōu)化算法,實現(xiàn)大數(shù)據(jù)量實時運算。
■ 選配高精度壓電陶瓷,可在高度方向?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量。
■ 高度集成化模組,便于多種場景的視覺系統(tǒng)集成。
■ 產(chǎn)品可用于高度、表面角度、平面度、厚度、體積、顏色相近表面區(qū)分等場景的測量。
儀器參數(shù):
儀器型號 | WeiMi01BG | ||
橫向分辨率 | 1280x1024 | 外觀尺寸(mm) | 280x166x84.5 |
橫向最小分辨率 | 6um*6um | 高度分辨率 | 0.5um |
高度重復精度 | 1.5um | 模組自帶量程 | 12mm (可通過外加位移臺拓展) |
視場區(qū)城 | 7.5mm*6.0mm | 重量 | 3.6Kg |
工作距離 | 58mm | 數(shù)據(jù)接口 | USB 3.0 |
電源 | AC 220V 50HZ | ||
測量速度 (高度方向掃描速度) | (222x p)um/s@分辨率pum 如222um/s@分辨率1um、444um/s@分辨率2um |